电阻率:18.2MΩ.cm @ 25℃
总有机碳TOC:≤10ppb
总有机碳TOC:≤5ppb (配置双波长紫外灯)
微生物<0.01cfu/ml
*热源含量: <0.001Eu/ml
*RNases (核糖核酸酶) <1 pg/ml
*DNases (脱氧核糖核酸酶) <5 pg/ml
颗粒 (> 0.22μm) < 1 个/mL
流速:1.5L/min