ITEM

SU3800

SU3900

二级电子分解能

3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式）

15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式）

背散射电子分解能

4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式）

倍率

×5～×300,000（照片倍率*1）

×7～×800,000（实际显示倍率*2）

加速电压

0.3kV～30kV

低真空度设定

6～650 Pa

图像位移

±50µm（WD＝10mm）

*大样品尺寸

200mm直径

300mm直径

样品台

X

0～100mm

0～150mm

Y

0～50mm

0～150mm

Z

5～65mm

5～85mm

R

360°连续

T

－20°～+90°

*大可观察范围

130mm直径（R并用）

200mm直径（R并用）

*大可观察高度

80mm（WD=10mm）

130mm（WD=10mm）

电机驱动

5轴电机驱动

电子光学系统

电子枪

中心操控式钨丝发射

物像镜头光圈

4孔可动光圈

检测系统

二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器

EDX分析WD

WD＝10mm（T.O.A＝35°）

图像显示

自动光轴调整功能

自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC）

自动光轴调整（实时级别对齐）

自动调整光束亮度

自动图像调整功能

自动亮度和对比度控制（ABCC）

自动对焦控制（AFC）

自动标记和焦点功能（ASF）

自动灯丝饱和度调整（AFS）

自动光束对准（ABA）

自动启动（HV Shielding="2">

操作辅助功能

光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能

配件

■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成

配件（外部装置）

能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、

各种外部功能台（加热台、冷却台、牵引台）