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项目 |
内容 |
分辨率*3 |
4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式) |
加速电压 |
0.3 kV~20 kV |
倍率 |
×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (显示器显示倍率) |
低真空设置 |
6~100 Pa |
电子枪 |
集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament) |
样品台 |
3轴马达驱动样品台 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° *大可观察范围:直径64mm(R联用)*4 |
*大样品尺寸 |
直径80 mm(选配:直径153mm) |
*大样品高度 |
40 mm |
尺寸 |
机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm 电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm |
选项 |
· 高敏感度低真空检测器(UVD2.0) · 能量色散型X射线检测器(EDS) |
软件 |
Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |